無源零差偏振激光干涉儀的誤差研究

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全部作者:楊軍 吳冰 劉志海 苑立波第1作者單位:哈爾濱工程大學理學院論文摘要:基於偏振光的瓊斯矩陣理論,研究了用於納米測量的偏振干涉儀的誤差產生原因和作用機理,目的是爲偏振干涉儀光學元件的選擇、光路的調整及其誤差的補償提供依據。理論研究表明,由於元件性能的不理想和調整的不完善使光束偏振態產生退化是導致干涉儀測量誤差的主要原因,其中以波片的.差模延遲角誤差最爲明顯。基於偏振移相技術的無源0差激光干涉儀其特徵是輸出4路相互正交的干涉信號。利用此特點,通過對元件的嚴格篩選和精細調整,並且選用差動信號處理方案,以使干涉儀滿足納米測量的要求。關鍵詞:激光;偏振干涉;正交信號;誤差 (瀏覽全文)發表日期:2006年07月07日同行評議:

1. 引言,郭彥珍等人討論0差干涉儀誤差的情況[12],但沒有分析時沒有考慮採用偏振移相技術的4路接收裝置。(語句修改)2. 偏振激光干涉儀被消偏振分光棱鏡NPBS 均勻的分成兩束 (這裏NPBS 應爲非偏振分光棱鏡)。3. 偏振片誤差分析,圖4 所示爲ε P 、α P 、δ 分別連續變化時干涉儀的誤差函數 f( Δφ ,δ ,α P ,ε P )的特性。(這裏圖4應改爲圖5)。此外,誤差分析討論中,若能增加對基於偏振移相技術的4路接收方案與其它技術或其它方案的比較可能更充實。

無源零差偏振激光干涉儀的誤差研究

綜合評價:修改稿:注:同行評議是由特聘的同行專家給出的評審意見,綜合評價是綜合專家對論文各要素的評議得出的數值,以1至5顆星顯示。